薄膜厚度测量解决方案

导轨直线度：≤0.05μm/10mm(λ=0.25mm)
采数间隔：0.05μm
传感器线性精度：0.1μm+0.2% f.s
传感器量程/分辨率比：1：262144
辅助电子摄像单元：30万像素
载物台X、Y向定位精度：0.02mm
传感器Z向移动定位精度：0.02mm
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采用气浮隔振机台隔离环境振动对测量的影响。
测力控制单元采用音圈电机实时控制以保证轻测量力。
测量时用罩壳隔离空气流动对测量的影响。
采用电子摄像单元辅助测量调整及测量过程控制。
配置多维电动载物台对零件测量部位进行测量。



薄膜台阶形貌、粗糙度、波纹度。