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    大行程粗糙度测量解决方案

    仪器概述
     

    本仪器具备CNC测量功能同批次工件可进行批量测量。
    本仪器采用非接触式传感器,线性好,精度高。
    可评价粗糙度、波纹度、轮廓度等数百项参数。
    软件可显示R曲线、W曲线、P曲线。

     
    测量范围

    X方向测量:350mm
    X方向分辨率:0.1μm
    传感器量程:200μm
    传感器分辨率:0.008μm
    Z方向立柱移动范围:100mm
    Y方向移动范围:350mm

     
    技术参数

     

    项目 参数
    技术参数 线性精度 ≤±(5nm+2.8%)
    残值噪声 ≤0.005μm
    重复性 ±5%
    截止波长 0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm
    评定长度 λcX2、3、4、5、6、7
    运动控制 X轴驱动方式 电动
    Z轴驱动方式 电动
    Y轴驱动方式 电动
    X轴驱动速度 0.05~15mm/s
    Z轴驱动速度 0.2-15mm/s
    Y轴驱动速度 0.05~15mm/s
     


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